一、超聲波清洗的空化清化作用：該機理是由于超聲波在液體介質中每秒會以兩萬次以上的壓縮力和加壓力相互交叉性的高頻變換方式向液體內進行投射。當出現壓縮力時，液體介質內部由于減壓力的作用會產生真空核群泡的現象，同時真空群泡也會受到壓縮力的作用而被壓碎，在壓縮瞬間產生巨大的沖擊力，這些沖接力會直接作用在清洗物表面的污垢上，將它剝落分離達到清洗的目的。
二、超聲波清洗的直進流清化作用：超聲波在液體介質中傳播的現象會使得液體在該傳播方向上產生流動的現象稱之為超聲波的直進流作用。如果超聲波的強度足夠大時，可以直接看到工業超聲波清洗機中的直進流現象，它垂直于振動面而產生流動。該直進流可以作用于被清洗物表面的油垢，使它不斷被攪拌，被溶解于液體介質中，達到清除油垢的目的。
三、超聲波清洗的加速度清化作用：由于超聲波在液體介質中的作用使得液體粒子被推動并產生的加速度。如果是使用頻率較高的工業超聲波清洗機，空化作用會不顯著，這時的清洗主要靠的是液體粒子由于超聲波的作用從而加速度撞擊粒子對污物進行超精密清洗達到使污垢脫落的目的。
根據以上的內容可知，工業超聲波清洗機的清化作用都不是直接對被清理部件有直接接觸的刷洗，而是通過介質液體的小分子粒子對污垢的撞擊或者振動等作用使它達到脫落的目的，因此使用工業超聲波清洗機來進行清洗不會對部件造成磨損或刮壞，對被清洗部件不會產生傷害。