超聲波發生器的功能是為超聲波振動系統提供高頻電能，同時根據不同的應用要求，對頻率和振幅進行跟蹤和控制，確保換能器正常工作。
超聲波發生器也稱超聲電源，它的作用是把輸入信號變換為相應的高頻交流信號，用于驅動換能器工作。超聲波發生器的組成：頻率發生器、功率發大器、阻抗匹配網絡、頻率跟蹤電路。
超聲波電源的發展與電子元器件的發展緊密相連，經歷了以電子開關管為核心的老式超聲波清洗機階段、以模擬晶體管為核心的近代超聲波清洗機階段和以晶體開關管、集成電路為核心的現代超聲波清洗機階段。
電子管超聲波發生器年開始被使用，體積大、效率低、現在較少被使用。晶體管模型超聲波發生器年前后被使用，具有很多優點，但是電源能量損耗較大、體積大，常用在小功率場合，在超高頻率領域仍有使用。晶體管幵關型超聲波發生器通過調節開關管的占空比來控制輸出功率，它是目前主流的功率發生器，具有頻率高、效率高、體積小、發熱少等諸多優點，且便于與控制芯片配合使用。