我國的工業在迅速的開展，到現在為止，精密清洗的工件越來越精密，清潔度要求也越來越高，清洗職業也面臨著更多更大的難題。在精密清洗的應用上（如液晶體、半導體等）運用傳統的頻率（20~40KHz），會發現不光無法到達清洗的要求，并且還或許構成工件的損害。較典型的比如便是關于軍用電子產品，職業已明文規定不允許運用傳統的頻率（20~30KHz）的超聲波清洗。
一般的來講，光學光電子清洗、線路板清洗等多選用40KHZ的頻率，清洗五金、機械、汽摩、壓縮機等職業的清洗多選用28KHZ頻率的清洗機。其實在一些歐美、日本等發達國，現已過選用高頻（80KHz或以上頻率，有的現已到達200K或400K）使這個問題得到了處理。那么為什么高頻清洗能防止對工件的損害呢？大家都知道超聲波清洗的基本原理是根據液體的空化效應。事實上空化效應的強度直接跟頻率有關，頻率越高，空化氣泡越小，空化強度越弱，且其減弱的程度非常大。舉例說，如將25KHz時的空化強度比作1，40KHz時的空化強度則為1/8，到了80KHz時，空化強度降到0.02。所以如果頻率挑選正確，超聲波損害工件的問題不存在了。
這兒必須區別二個概念：超聲波的功率和頻率。在精密清洗中，當必定頻率的超聲清洗后達不到清潔的作用時，如果工件上要去除的雜質顆粒較大，或許是超聲功率缺乏，添加超聲功率可處理該問題；但如果工件上要去除的雜質顆粒非常小，那么不管功率怎樣增大，都無法到達清潔的要求。從物理上分析其原因：當液體流過工件外表時，會構成一層粘性膜。低頻時該層粘性膜很厚，小顆粒埋藏在里面，不管超聲的強度多大，空化氣泡都無法與小顆粒觸摸，故無法把小顆粒除掉；而當超聲頻率升高時，粘性膜的厚度會削減，空化泡可以觸摸到小顆粒，將它們從工件外表剝落。由此可見，低頻的超聲鏟除大顆粒雜質的作用很好，但鏟除小顆粒雜質作用很差。相對而言，高頻超聲對鏟除小顆粒雜質則特別有效。
在精密清洗的應用上,高頻超聲波清洗機現已成為一種規范,所以超聲頻率的挑選對清洗的作用有決定性的影響.高頻清洗機也越來越遭到用戶的認可。
超聲空化閥值和超聲波的頻率有密切關系，頻率越高，空化閥越高。超聲波清洗機換句話說，頻率低，空化越簡單產生，并且在低頻情況下液體遭到的壓縮和稀少作用有更長的時間距離，使氣泡在潰散前能生長到較大的尺度，增高空化強度，有利于清洗作用。所以低頻超聲清洗適用于大部件外表或許污物和清洗件外表結合度高的場合。但易腐蝕清洗件外表，不適宜清洗外表光潔度高的部件，并且空化噪音大。４０ ＫＨＺ左右的頻率，在相同聲強下，產生的空化泡數量比頻率為２０ＫＨＺ時多，穿透力較強，宜清洗外表形狀復雜或有盲孔的工件，空化噪音較小，但空化強度較低，合適清洗污物與被清洗件外表結合力較弱的場合。高頻超聲清洗適用于計算機，微電子元件的精密清洗；兆赫超聲清洗適用于集成電路芯片、硅片及波薄膜的清洗，能去除微米、亞微米級的污物而對清洗件沒有任何損害。因而從清洗作用及經濟性考慮，頻率一般挑選在２０—１３０ＫＨＺ范圍，當然正確挑選頻率至關重要，而具體合適的工作頻率的選取需要做必定的試驗獲得。